MM3A納米顯微操作儀的驅(qū)動單元

　　MM3A納米顯微操作儀以其高精度、超靈活、易操作、小體積成為電子顯微鏡用戶的得力助手，改變了電子顯微鏡只用于樣品觀察的傳統(tǒng)，直接在樣品室內(nèi)操縱樣品，由此衍生了許多豐富多彩的應(yīng)用，使得對樣品的研究更深一步。MM3A的移動范圍是三維空間的，X、Y軸可作±120°擺動，Z軸可作12mm的伸長，整個空間的移動范圍達(dá)到100立方厘米。系統(tǒng)驅(qū)動全部由壓電陶瓷來實(shí)現(xiàn)，由此保證了Z軸每個步進(jìn)的精度可達(dá)0.5nm，當(dāng)采用快速移動模式時，速度可達(dá)到2mm/s，可以說是同時兼具了高精度和率，的大行程設(shè)計，使得Z軸總行程可達(dá)到12mm，納米級的移動精度、厘米級的移動范圍是MM3A的zui大特點(diǎn)。
　　MM3A納米顯微操作儀特點(diǎn)介紹：
　　1.壓電陶瓷納米馬達(dá)
　　2.納米級分辨率
　　3.厘米級移動范圍
　　4.體積小
　　5.無漂移
　　MM3A納米顯微操作儀采用壓電陶瓷技術(shù)（PZT）, 提供多種型號(PCS-5000---PCS5400系列)，適用于要求較高的膜片鉗和顯微注射實(shí)驗：
　　*步進(jìn)平穩(wěn)，避免了水壓，油壓操作儀不可避免的漂移問題 ，一小時內(nèi)漂移不超過1微米
　　*單軸或三軸微調(diào)控制，在水平和垂直平面可多角度旋轉(zhuǎn)，更適合膜片鉗電極的快速更換
　　*微調(diào)行程300微米，粗調(diào)行程25mm，zui小控制位移60納米。
　　*良好的電學(xué)屏蔽設(shè)計，適于膜片鉗實(shí)驗的低噪聲記錄。
　　MM3A納米顯微操作儀的驅(qū)動單元是由壓電陶瓷構(gòu)成的納米馬達(dá)，因此它zui大的特點(diǎn)是能夠進(jìn)行納米級移動，在保證納米級移動的同時其的設(shè)計可以同時做到毫米級的移動范圍，整個操縱裝置全部由納米馬達(dá)驅(qū)動，從而保證了系統(tǒng)體積非常小，可以很容易地放入電子顯微鏡腔室內(nèi)。